新華社北�6�29日電(記者烏夢達(dá)、趙旭)�100�,,中國‘芯'�,。在慶祝中國共產(chǎn)黨建黨百年之際,北京航空航天大學(xué)科研工作者在5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下這幾個字,。這個厚度相�(dāng)于一張普通打印紙的十萬分之一,�
6�24日,在北京航空航天大�(xué),,集成電路學(xué)院科研人員在5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下�100年�,。新華社記者鞠煥宗�
磁性芯片生�(chǎn)過程中,需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓(制作硅半�(dǎo)體集成電路所用的襯底)上,。確保所有晶圓完全“躺平”有多難,?北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系教師張�(xué)瑩表示,其相�(dāng)于在北京的海淀區(qū)地面上均勻鋪�5層厚的小米粒,,且須完全平�,,“因此,檢測薄膜的平整度尤為�(guān)�,?�?
張學(xué)瑩介紹,科研人員利用檢測儀�,,通過微小的磁性針尖在薄膜上寫�,,若字的顏色對比度一�,、字跡清�,,則表明薄膜有良好的均勻性。完成平整度檢測�,,將納米薄膜制成器件,,封裝后形成芯片�
6�24�,,在北京航空航天大學(xué),,集成電路學(xué)院科研人員(前)�5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“中國芯�,。新華社記者鞠煥宗�
該檢測儀器,正是由北航集成電路學(xué)院科研團(tuán)�(duì)研發(fā)的晶圓級磁光克爾測試儀,�
北航集成電路�(xué)院工藝與裝備系主任王新河�,,磁性芯片可作為高可靠的信息存儲模塊和高靈敏的磁信號傳感模塊,應(yīng)用于飛機(jī),、衛(wèi)星的控制系統(tǒng),,以及手�(jī)電子羅盤、汽車自動駕駛等�(lǐng)�,。而磁性芯片生�(chǎn)過程中的磁性薄膜檢測這一�(guān)鍵技�(shù),,屬于我國長期被“卡脖子”的技�(shù)�
“對比國外同類設(shè)�,,這臺儀器在測試精度和速度等方面�(jìn)行了技�(shù)革新,,實(shí)�(xiàn)了自主創(chuàng)新突�?!蓖跣潞诱f,�
6�24日,在北京航空航天大�(xué),,集成電路學(xué)院科研人員在用磁性筆尖檢測納米薄膜的磁�,。新華社記者鞠煥宗�
�(jù)了解,該儀器現(xiàn)已應(yīng)用于科研�(lǐng)�,,且�(yù)�(jì)于今�10月在�(chǎn)�(yè)�(lǐng)域投入商�,�
早在1993年,中國科學(xué)院科研團(tuán)�(duì)就用10個原子擺出“中國”字�,,標(biāo)志著我國可自主實(shí)�(xiàn)原子操縱,。如今,用于書寫�100�,,中國‘芯’”的晶圓級磁光克爾測試儀,,為具有百億元市場規(guī)模的磁性芯片產(chǎn)�(yè)提供�(shè)備支撐�
從“中國�,,到�100�,,中國‘芯’”,背后的科研突破成為我國高科技自主�(chuàng)新能力不斷提�,、國家科技力量持續(xù)增強(qiáng)的一個縮�,�
“作為科研一線的基層黨員,我覺得扎實(shí)搞研�,、實(shí)�(xiàn)�(chuàng)新突�,,便是我們對建黨百年最好的�(xiàn)�?!睆垖W(xué)瑩說,�
(編輯:映雪�
